XPS測定。試料を取り付けて、真空引きして、条件設定してと1時間以上かかった。測定をスタートできたのは1130頃。

成膜するために準備を終えてガスを流そうとしたら、流量計が全然反応しなかった。ガスはちゃんと流れているので、よく観察していたら、隣の流量計が反応していた。恐らく、先日、修繕にきた時に間違えて接続されたっぽい。アーッ！ 応物の発表練習を聞いたり…

雑用など。 自分の論文を弄りながら、パワポをちょこちょこみる。 名刺を作ってみたり。

院生の論文がひとまず完成してWeb投稿した。その隙をついて、自分の論文もちょろっと弄る。 ゼミ 卒論生二人が風邪と重度の花粉症で欠席。それでも、結構時間かかった。今週は発表練習でつぶれそうだ。 ゼミ後、油拡散ポンプのオイル交換。さくっと終える。

先生は論文の締め切りが明後日ということに気づいていなかった。一気にペースが上がる。なかなか直らない。 鼻水は一向に止まらず、とめどなく流れる。

鼻水だらだらで集中できず。

メーカーの人が装置の修繕をしにきてくれる。 その間、院生の論文の直し。もう限界が近い。自分の論文もやばくなってきた。

基板洗浄（20枚目）をやりながら、明日、宅急便で送る試料の梱包をする。 そのあとは、ひたすら論文直し。自分のことができないなぁ。

論文の直し。最近、こればっかり。

午後一から、他大学で測定してもらう試料の成膜。成膜は成功したので、良いデータがでるといいな。明日、宅急便で送ろう。 その間、基板洗浄やら論文の直しやら。時間の経過とともに、英語に使える頭が限界に近づいてきた。

XPS測定。6試料分。試料セットから測定開始まで1時間かかる。測定は1120-1820。 院生の論文直し。怒涛の勢いで…

院生の論文を直すも、限界に近くなってきた。 基板洗浄液はゴミが浮き出したので交換することにした。今回、80枚くらい洗った。 ゼミ 1620-1800。結構、長かったな。応物まであと少し。

昨日、成膜した試料をカットして膜厚とαの測定。膜厚は狙い通り、再現した。これで本番の試料に取り掛かれる。それは明日。 XPS測定の予約。

備品を回収しに行った。日向は暖かいな。 成膜。4時間コース。その間、ネット見たり、ノート作りしたり、論文直したり。装置の調子は絶好調。 1800近くに終わって、おやつにゴルゴンゾーラを食べる。 先生が暇そうにおやつを食べようとしていたので、酒（い…

コーヒーを飲んだ後、もらえる備品を見に行く。初めて行く研究棟。かなり老朽化している。

基板洗浄をやりつつ、チャンバー内掃除。ベーキングとプレスパッタまで出来た。効率的だ。 ベーキングをやりつつ、ノート作り。一転して、一向に進まない。

院生の論文を直す。と、言っても自分にも限界があるが… XPS測定の終了を待ちながら、ノート作り。得意な部分だと進みが速い。補足を入れながら、清書しないと駄目だな。

昨日の会議の報告をした後、XPS測定。

ゼミ 進捗状況はやや悪い。ゼミをやる部屋に入って暖房をつけた瞬間、鼻が壊れて、鼻水垂れまくり。部屋からティッシュを持ってきた。 自分も発表練習をした。10分のところ15分もかかってしまい、スライドを1枚削ることになった。

1100から1400まで成膜。基板洗浄したり、発表のスライドを見直したり。

透過率測定とか。 プレゼンの内容を練る。 夕方、早速、ゴルゴンゾーラを食べる。相変わらず美味い。

MRSに行く院生の論文の手直し。むー。

XPS測定。CとOのリピート回数を間違えたため、測定時間が長くなってしまった。 平成11年分の年金を支払う。18万弱。これでコンプリートしたけど、1年払わなくて国に3割負担した貰ったら、どの程度、影響するのだろうか。もしかしたら、馬鹿馬鹿しい事したか…

13時過ぎから、ターゲット交換。厚さ5mmの内、2mmしか使っていなかったけど、放電中に見るとかなり際どく見えた。またインジウムが漏れていた。まだ冷却が足りないのか。 16時過ぎ、取り付けも終わって真空引きを始めて、プレスパッタまでやった。19時近くに…

自分の所の試料のXPS測定。

飯？が終わった所で、XPSの依頼測定に取り掛かる。院生らしき学生も来ていた。 マシンタイムのキャンセルがあったため、早く取り掛かれたので18時半過ぎに終えることが出来た。 どうしてもターゲットが気になるので、リークして確認した。散々悩んで、明日、…

天気が悪くてご飯を買いにいけないので、成膜を始める前にサンドイッチを買っておいて、一昨日買った揚げパンを食べる。多いし、なんだか胃モタレする悪寒。 11時過ぎ、成膜と行う。一ヶ月も経っていないのにターゲットが随分減ってきた。放電中のターゲット…

XPS 頼んでいた人が急に都合悪くなったということで、急遽XPS測定をやることになった。依頼した人が駄目になったら諦めればいいんじゃないかとも思うが、マシンタイムが取れているんだったら測定したいと思うのも理解できる。ので、引き受けた。すると、明日…

データを補完するための成膜を行う。終わったのが14時過ぎ。腹ヘリンコ。

いろいろ考える…と、鬱になった。うへへ。