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• 13時過ぎから、ターゲット交換。厚さ5mmの内、2mmしか使っていなかったけど、放電中に見るとかなり際どく見えた。またインジウムが漏れていた。まだ冷却が足りないのか。
• 16時過ぎ、取り付けも終わって真空引きを始めて、プレスパッタまでやった。19時近くに終了。