2005-04-15 掃除 異常放電の原因を取り除くべく掃除。 カバーが取れない。溶けて漏れたインジウムが固着しているのんだな。 ターゲットごと引き抜いてみるも取り難い。精密ドライバーとバッキングプレートを若干犠牲にして外す。ようやく隙間が見えて、ドライヤーで温めながら突ついていたら取れた。 この装置をメンテナンスしよとすると、たいてい想定外の高いハードルが現れて、スムーズに事が進まない。1600頃まで。真空は正常に引けた。