2007-02-22 ■ 作業日誌 作業日誌 08:35、251。 XPS ガン堀りデー 500nmの酸化珪素膜でエッチング速度テスト。 一発目は一昨日の結果を参考にしてエッチング時間を設定したら、界面に届かなかった。どうやら膜質が違うみたい。 二発目はメーカーの公称値を参考に組んだら、うまく界面がでた。 最後の三発目に加速を下げてのテスト。これも界面がでた。加速を半分にしたら、彫れる速度は1/4になった。 パワポ なんとか形にした。7分に収まるか微妙。 19:55、258。 自宅最寄駅で仕事帰りの父親と遭遇したので、家まで一緒に歩いた。歩く速度が遅いな。年だからか。 父親が一緒に歩けたことを喜んでいたのを見て、若干切なくなる。