午後

• 自分のマシンタイム。pre-sputterを入念にする。結果はいかに…？
• その間に電極を蒸着する。
• 二度目の成膜。微妙なFlow rateなので、片方の放電が止まっていた。orz。油断できない成膜条件ということでしょうか。
• XPSの後始末。
  • 院生に取り付けてもらった試料が裏返しだったので、SiO2が出てきてた。orz。