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• 08:35、251。
• XPS
  • ドジった試料の測定。
  • ホレテナーイ！。最表面の様子から芳しくなさそうだけど、掘ってみないことにはわからない。ただ少なくとも一つは駄目。
• XRD
  • ついでなんで一気に再現性の確認。細々と一日かかった。
• 成膜
  • ウエハの裏を試してみる。3時間コースで。