寒い

• 往0805家-0811三田線-0853小田急-1030大学
• 復1932大学-1953小田急-2132三田線

• AM　ルーター設定。前回の苦労の甲斐あってサクサク進む。基板加熱200度。40分弱かかった。
• PM　説明しながら初成膜。1Paで50Wと100Wで30分づつ。流量計の勘違いがあった以外は順調にできた。2Pa付近じゃないとプラズマ点火しないので、点火後、1Paへ。18時過ぎにはすべて終了。