- AM アニール炉の試運転。プログラムもOK。6時間までは出口のホースのやられもなし。
- 昼食後、装置のメンテナンス。給電線−アース間の抵抗を測ったらツーツーなので、チャンバーを開けて掃除することにした。約一か月分のゴミが溜まっていて、掃除機ですった。
- その後、調子の悪かった真空計の取り替え。
- 成膜室からロードロック室を真空引きして、真空計のチェック。
- すべてOKだったので、プラズマのチェック。なかなか反射波が50Wを割らないので、給電線をチェック。どうやら、給電部分のネジ止めとMBの接続が甘かったらしい。点火するこを確認して終了。
- 帰り、自分が自転車を置いている駐輪場で、警官が男になにやら注意しいていた。自転車ドロ未遂か。
