- 水出しコーヒーは先生に好評なようだ。
- 自分の年金の手続きがどうなっているか確認するため、社会保険庁に電話。処理は進んでいるようで安心。3か月分くらいまとめて払うことになりそうだ。しばらくすると、住民税も払わなきゃいけなくなるな。
- 放電しないのでチャンバー内の掃除。基板温度を上げたので、壁面についていた膜が一斉に剥がれ、それがターゲットに落ちたのが原因らしい。念入りに掃除機で吸った。放電テストOK。
- 温度を上げているので、10-5Paに入らない。3回成膜。成膜に関して、応物への目処はついた。後はラマン測定の結果待ち。
