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• 透明電極班の成膜。基板をつける位置が悪くて、中心がずれていた。次は同じ条件で位置を確認させよう。装置は安定。
• 同じ装置の別なターゲットにすると、放電しなくなる。散々、掃除して、ギャップを調節しても放電しない。ターゲットを切り替えるスイッチの接触が悪い気がする。なんといっても20年選手だから労わらないと。
• 透過率の測定を少し。