2005-08-16 午後 光学、導電率を測定する。 スペクトルを見る限り、昨日作った膜は組成がずれている希ガス。ターゲットの削れ方が相当違うのか。XPS測定ができないので、確かめようがない。 導電率は値は良くない物の、傾向が出ているので良しとするか。ちょっとテンションがあがった。 測定したデータを整理しつつ、パワポに追加。 SMA4を使いだしてから、グラフ作成が驚くほど楽になった。