- 0930、ターゲット交換からスタート。ターゲットが届かなくて、途中、15時過ぎまで作業がストップした。
- ターゲットが届くまで、各部分の説明、試料の受け渡しなどを行う。成膜室からプラズマ処理室に移すとき、ロードロック室で試料を180度回転させる。真空中で行うのだが、アクロバティックな印象だ。
- 真空引きも10-4Pa台まで引くのにそれほど時間がかからないのは、今までの経験からかなりカルチャーショックを受ける。
- かるくスパッタリングを行う。操作はそれほど難しくない。プラズマ室に移して、プラズマを点火してみる。
- 停止操作を習って終了。
