2004-05-17 蒸し暑い・天気雨 往0742家-0750三田線-0840小田急 復2045大学-2107小田急 蒸し暑すぎ。駅を降りたら、天気雨にみまわれた。 AM 装置立ち上げ PM 応物予稿のための実験開始。怒涛の4連続成膜。4発目にArガスの元栓を開け忘れがあり(19:20頃)、途中でプラズマが消えた。すぐ気づいてよかった。 アニールも開始。