2004-10-16 仕事 スパッタ装置のメンテナンス。13:00-16:00 ターゲットがバッキングプレートが見えるまで削られていた。ということは、ここ数日の膜にインジウムや銅が混入しているので全滅だな。 ターゲットとプレートを接着しているインジウムが、六角のネジにまた流れ込んでいた。精密ドライバーで穿り出した。 掃除後、腹が減ったのでカップ焼きそばを食した。