- 10-4台に入りそうなので、午後、放電チェックをすることになった。一ヶ月実験が止まっていた。
- 「やっと実験できるよ」と思っていた矢先、ターゲットリボンヒーターをとったら、徐々に真空が悪くなってきた。
- どうもあるターゲットを回すと悪くなるので、リークしてる可能性が高い。ここ一ヶ月、真空が引かなかったのは、このリークのせいかも。
- ターゲット本体を抜いてみると、Oリングの周りにごみがついていた。つけるとき、ちゃんと拭かなかったのか？
- ターゲットを外してみたら、長期のベーキングによりターゲットとバッキングプレートを接着しているインジウムがもれていた。結構、高温になったのかな？
- 気になる箇所を掃除して組み立てて、粗引きしたら、水が漏れているような挙動を示した。
- おかしいので、再度リークして確認しても水がある形跡はなかったので、ごまかしながらTMPを入れた。後は、待つしかない。
- 装置のメンテをしながら、頼まれもののXPS測定の試料を仕掛ける。
