2005-11-05 午後 成膜しながら予習。仕事関数の大小の組み合わせが結構あって、ごっちゃになりそうだな。整然と説明できるのか。 玉井先生の研究分野(トライボロジー)の話が所々出てくる。 成膜後、新しい基板を入ようとしたら、汚れていてへこむ。orz。大丈夫そうなのを選んで使うしかない。 先日、M2が基板洗浄に失敗して、それを僕が駄目もとで洗浄してみたが、やっぱり駄目だったか。3000円がパー。 それでも二度目の成膜。放電の調子はよさげ。 新しい基板を洗浄する。最初からこうすればよかった。 予習、捗らない。