2005-11-07 午後 ガスボンベ交換。ラインのクリーニングに時間がかかる。 それを待ちながら、装置の部品をヤスリがけ。ターゲットに近い場所なので、頑固にこびりついている。 その後、頼まれものの成膜を仕掛ける。 夕方、予習。図が間違っているぞ。玉井先生はトライボロジー系の研究をしてるので、デバイスの本なのに時々、その話が出てくる。自分も摩擦はやっていたから話せるけど、聞いている学生はポカーンかも。ということで、そこ辺はごっそりカットした。