2006-05-20 午後 Ramanをいじくる。BGの強度、Siズレなどを記録しておくためにも、きちんと使用者ノートを作らないとだめだな。 AISTのRamanとピークの出方が違うのが気になるんで、測定は保留。 基板洗浄をする。 そんなこんなしているうちに、一回目の成膜終了。基板交換後、二度目の成膜、14:30、スタート。 二回目は難儀する。測定開始15分でガスが流れなくなったので、お試しバージョンで水素のみでやってみる。 夕方、四月に卒業したばかりのOBが長野から遊びに来て小一時間ほどトーク。