2007-02-16 ■ 作業日誌 作業日誌 08:30、251。 XPS イオン銃のエッチング速度を調べるため、100nmのSiO2を掘ってみる。膜厚があっているとすると、メーカーの公称値よりも早いことになる。 測定の途中で止めようと”abort”を押したら、データ保存が行われず測定が止まった。まさにあぼーんだ。 工業フェア 区内の企業の展示会。ビックサイトや幕張で行われる展示会と毛色が違い、物凄く新鮮。 薄膜関係をやっている会社のパンフを貰って名刺を渡して営業した。 書類 事後申告書類に頭を悩ます。なんとか埋めてみたが… 21:00、258。