2007-04-02 ■ 作業日誌 作業日誌 08:35、251。 XPS ウエハ測定。XPSからの酸素かなぁ。 掃除 チャンバーの掃除。その後、2つあるイオン銃をそれぞれ2時間ずつ空焚き。 1835、258。 京成が遅れていた。またか。