2007-08-14 ■ 作業日誌 作業日誌 所内が静かだ。 研磨 炭素。#2400を入れてみたけど、まだ傷が残ってる。どうしようか。 お盆休みでお客さんはこないので、クリーン部屋で終日作業。 装置の配置替え。配管を外したので、管を引いておく。 ビーカーをセミコクリーンで洗って、基板洗浄の検討。テストでは純粋でフィニッシュして、130度に加熱してみたけど染みができてしまった。フィニッシュはIPAにして加熱の方がよさげかも。 20:10、258。