- やたらと山手線が混んでいた。ドア付近の手すりによっかかっていたら、ケバイOL風とチークダンスちっくに密着させられた。かなり気まずい10分だった。これが女子高生だったら、もっと気まずい。
- AM 自分で成膜しながら、成膜条件の整理。学生にとっては、ややこしくなってきたようだ。一人は成膜回数×熱処理4パターンだから、気を抜くとわけがわからなくなる。試料の管理を徹底させるしかないな。
- PM 自分で成膜と院生が成膜。本日は4回成膜。300度にあげたら、チャンバー内の膜がはがれてきて、最後にはターゲット付近におちてプラズマが勃たなくなった。ペレに相談したいよ。明日、掃除することにした。
- 給電線の交換。試料洗浄。
