2004-05-24 涼しい→暑い 往0801家-0808三田線-0852小田急 復2104大学-2137小田急 午後から雨って言うんで歩いていったら、雨は降らなかった。 AM ラマンのデータを検討しつつ、今週の予定を検討する。 午後一でチャンバー内を掃除。温度を上げたので、壁面についた膜がかなり剥がれていた。 真空引きしながら、基板温度を上げる。温度を上げると、何気にベーキング効果もあるので、そのまま放置。 初めて図書館へ行った。文献のコピー。Thin Solid FilmsとJ. Vac. Sci. Soc.あった。 夕方から、二回成膜。結晶化しているといいな。