2004-05-28 暑い 往0801家-0808三田線-0852小田急 復2024大学-2039小田急-2205三田線 昨日、TAが風邪引いてたのをみて珍しいと思っていたら、先生と院生が風邪を引いていた。 ラマン測定の結果整理。至極、当たり前の結果だが、結果が出てくるとやる気がでるな。 基板加熱のせいで、基板を支える足と上下させるバネがいかれてきた。 一回成膜してから、チャンバー内の掃除。