スパッタ装置修理

• ULVACが燃えた電源の修理にきた。
• いろいろ調べた結果、燃えた部分を取り除いて、こげた部分の配線をし直すだけらしい。
• 電源を直したおじさんは新しいスパッタ装置を見て、「こりゃ同軸が細くてだめだなぁ。技術力がわかるよ」と言った。む〜。
• 院生が忙しいので、成膜を三回やった。