午前

• ピラニーゲージの校正をいくら合わせても合わないので、チャンバーのピラニーとTMPのピラニーを交換することになった。まず、リーク用の窒素ガスボンベを交換しようとしたら、キャップが物凄く硬く締められていた。かなり凹む。卒論生がこじ開けて、無事リークできた。
• ゲージを付け替えた時、ゆるゆるだったので一瞬焦るが真空引きするとしっかりした。
• すぐに真空引き。あっと言う間に10-3に入ったので一安心。ベーキングを兼ねて基板温度加熱を仕掛けておく。