((( ；゜Д゜)))＜うぉい、オーバーフローかよ

• 小田急に乗っているとき、普通にガスを流しているのにターボの回転数が落ちるという電話があった。学校について調べてみると、確かに表示は普通だが、負荷がかかっていて回転数が落ちている。その上、ターボ本体も熱くなっている。
• 危ないので一旦、成膜を止めて調べてみると、マスフローコントローラの根元の流量設定が弄られていた。ということは、見かけの表示より4倍多く流れていたということだ。
• 全く、いつからだよ…￣|＿|○
• 自分の被害は一枚（4時間の成膜）。