- 9時集合。早すぎ。ダクト工事の立会うためにきたら、工事は半ばを過ぎていた。居ても邪魔なので、研究室で雑用など。
- PM 成膜しようと思って仕込み室の圧力を見たら、10-1Pa台になっていた。一瞬あせったが、TMPが停止していただけだった。TMPに電気的ノイズが入ったんだろう。
- 二回目に成膜しようと思ったら、仕込み室の圧力が10-1Pa台でピタッと止まった。どっかで漏れている可能性があるので、まずOリング周りを拭いたが効果なし。
- たまに10-3Pa台まで引けるのに、瞬間的に10-1Pa台に戻るという症状もでた。
- プラズマ室から仕込み室を大気から引いてみたが、10-1Pa台で止まってしまう。いよいよどこか漏れているのか？あちこちアルコールをたらしてみたが、漏れている様子は無い。
- 調べたところで頭を悩ましながら帰宅。
