地獄

• 復 2035大学-2058小田急-2300家

• 自宅へのADSL導入に伴い、AirH"を解約するためにDDIポケットに電話。
• 古い成膜装置で実験。前回、インターロックが発動して失敗した。今回も冷却水が足らないとエラーが出てDPに電源が入らなかった。それは何とか回避して真空引きして、放電させようとしたら、今度はRF電源が入らなかった。
• 前回の無理がたたって電源が死んだかなと思ったら、水か圧力か何かのインターロックが働いているらしいので、インターロックをショートして成膜した。今日は放電も安定して成膜中おかしなことはなかった。
• 今日はこんなに寒かったっけ？というくらい寒さを感じていて、腰に痛みがあった。あまりにひどいのでパブロンを飲んだ。