午後

• 蒸着器の真空引き。
• 京ぽん2でPIGやClan of XYMOXを聞きながらの作業。一人だからやりたい放題。
• 若干、成膜条件に迷ったけど、本日、二度目の成膜。14:40スタートの270分コース。
  • 圧力を上げた。組成が揃えばいいな。これで電力が決まれば、流量比をもう少しあげられる。
• 蒸着、微妙に終わったのでもう一度やっておくことにした。
• その間に基板洗浄。もう15時か。