午後

• 成膜装置の基板ホルダーの足が上がりきらないというので、リークして原因を探る。バネ位置が悪いみたい。1730終了。
• 学会の原稿が終わったM1と先生が飲んでいるところに混ざる。
• ひたすら真空引き。ベーキングをかねた基板加熱をしてて、冷却水を流そうとしたら、どうも装置に水が回っていない。おかしいと思いつつ調べていたら、根元が閉められていた。昨日の工事が終わってから開けられてなかったのか。