2006-06-29 午後 微妙な時間帯に装置が空いたので、電力を半分に落としてデポレートを下げたら、電気的特性が良くなったほしいと願いつつ、お試し成膜。 σ測定。期待していた試料でオーミックとれず。orz。いいかげんに見積もっても、特性は悪そう。 整合がとれないときの反射が悪さするのかな。