みなιリ - マソ日記乙

I'm Just A Simple madness man

午後

  • Auのワイヤーが届いたので早速蒸着しようと思って試料を確認したら、表面が酸化して油がたれたような感じになっていた。Low temperature、High flow ratio、High pressureの3拍子が揃うとこうなってしまう。全滅した試料もあった。orz。
    • 真空デシケータに保存するしか無いんだけど。
  • なんとかセットして、真空引き。あとは買ったLN2が届くのを待つだけにしておいた。
  • デスった試料を急遽作り直す。といっても、デポ時間は4-6時間/1試料かかるので、地道に作り直すしかない。
  • 15:00過ぎ、ワックスが入る。廊下に椅子などを出して、ワックスが終わるまでうだうだした。
  • 掃除後、部屋を元通りにして、LN2を取りに行き、実験再開。1Φのワイヤーを2cm使い、U字に曲げてフィラメントに入た。適度に加熱。リークして、フィラメント交換してAlを入れて真空引きして蒸着。
  • σ測定。見事に抵抗性が取れた。他のデータとの整合性もバッチリ。だけど、予想していた結果とはちょっと悪い方向で違っていたけど、再現性あるし、そうなのかも。考察をしなおさなきゃいけない。
  • 成膜条件の変化とRadical種の変化をおったら、それだけで論文かけそうだな。発光をみるか、Qマスでみるのかな。