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• 08:35、251。
• 成膜
  • 装置の構造上、基板回転をさせない限りムラができてしまう気がするので、反応性スパッタを試してみる。一度目は薄すぎるようなので、二度目は時間を倍にして2時間デポした。イオン源が熱くなるので気を抜けない。
• XRD
  • 薄すぎで、下地のピークが出た。(´・ω・`)＜セツナス。
• 各所にメール
  • 過去のデータから掘り起こしで。