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• 08:35、251。
• 幹部
  • 年度始め恒例の幹部の支所巡り。
• 成膜
  • リーク。ターゲットのSiウエハが緑と紫に着色。酸化物っぽい。最初はどこかリークしてて酸素ビームがでてるんじゃなかろうか？と思った。
  • そのままアシスト銃で空炊き3時間。ウエハがメタリックになった。つまりアシスト銃によるスパッタ膜がウエハにデポされたんだった。当たり前だよなorz。
  • スパッタ銃でウエハを3時間たたく。ウエハに変化なし。
• 睡魔
  • デポ中、目を瞑ると寝てしまう。鼻炎薬のせいだとおもいたいけど、異常なほど眠い。
• 18:30、258。