パン二個。猫が四匹生まれた。親猫は怪我をしていた。パンを持って近づいたら、猫パンチを喰らった。おなかが減っているようだった。

昨日の続き。圧力はすべて10-5Paに入っているので引きは問題なし。 ベーキングを兼ねて基板加熱を行う。600℃まで。 クリーニングを兼ねて、70分弱の成膜を行う。 ロードロック室をリークしたときの成膜室の漏れはない。ゲートバルブは大丈夫そう。 紀要を書…

往0809家-0819三田線-0835山手線-0900小田急 復194大学0-1959小田急-2100山手線-2132三田線