- 再現性を確認するために作製した試料の吸収スペクトルを測る。恐る恐る以前のデータと比べると、当たり前だが再現した。
- sputter法で恐いと思うのは、エロージョンの進行度合いによる組成のずれ。今回、高価な基板に成膜して測定してもらうので、手持ちの装置で測定したスペクトルにズレがあるとすり合わせができないので、ちょっとびびっていた。
- sputter装置の講習。相手は一人、のんびり教えられるので、かなり丁寧に説明した。久しぶりに動かす装置だったから、基板温度をあげていたら思ったより脱ガスがひどい。ベーキングをかねて放置することにした。
- XPS測定の後始末。
