2006-03-04 午前 成膜を仕掛ける。10:50-14:10。 蒸着の用意もしなきゃいけないけど、基板もなかったので、若干悩んで基板洗浄を先にやることにした。小一時間ほどかかって、すぐお昼の時間になった。