2006-05-31 午前 09:45 研究室着。 実験室で業者を待つ。 装置が空いていたから、成膜をやってしまうことにした。10:05。3時間コース。 10:30 業者来室。トラブル箇所はわかっているので、さくっと直してもらった。故障というほどの故障でもなく無料だった。 20年選手だから、あちこちガタがきているのは致し方ない。業者さんが帰った後、チャンバーの蓋が開かなくなってあせった。コードの接触不良だった。 Interlock絡みのトラブルは、極力、自分で手を出したくない。