- AM 基板温度上げ、データ整理
- PM 成膜しようとしたら、またも反射波が減らないのでチャンバー内を掃除することに。やる気は減るけどな。困ったことに基板加熱をしていたので、冷めるまで待つしかなかった。200℃になったところでリークした。
- 案の定、熱い。ホルダーを触らないように掃除機で吸うも、次々剥がれ落ちる。きりが無いので、ピンセットと紙やすりで出来るだけはがした。
- 17時過ぎ、10-4Paに入ったので放電テストしようとしてマッチングを取っている間に、電源のFAULTランプが点灯して、それ以来、進行波も出なくなった。ターゲット−アース間の抵抗を測ったり、給電線を交換するも回復しなかった。
- 最終手段で空いているターゲットホルダにターゲット自身を移す手もあるけど、至極面倒なので、回避方法を考えていたら、単に使ってない電源を持ってくれば良いのに気づき、早速交換した。結果、無事、放電した。なんとか、役目は果たせたか。
- 本日の実験は無理だが、ベーキングをかねた基板加熱を行う。
- 18時の約束の業者が19時前に来て、いろいろ作業していった。
- 奇跡的に研究室からホームまで10分で来られた。結果的に2時間で帰ることが出来た。車内では隣は女装男で、空いているのに目の前に立ったカプールの千秋似の喋りをする彼女がずっとうるさいし、國府田マリ子並の「何だかなぁ」だった。昨日は昨日で、かばんを僕の膝に乗せようとしたり、振り回して対面のにいちゃんの膝にヒットさせたりと、頭のおかしいリーマンがいたし。ヒットさせられたにいちゃんは当然怒っていた。
- ヤガミトールのCDが届いていた。まだ聞いていない。MP3にするかな。
