2004-06-09 曇り→雨 寒い 午前中は5月分の成膜条件の整理。 膜の表面状態の確認で、別条件で成膜。確実におかしい。温度か、ターゲットのぽちゃか…。明日は温度を下げて成膜してもらおう。 アニール炉の温度校正。中と外じゃ40-60度違うな。またやるべきことが増えた。 昼飯中にネットでネットワークの資格試験を受ける。初級は簡単すぎ。