仕事

• 午前中、自分の成膜の仕込み。基板ホルダーがでかいためか、なかなか温度が上がらない。その間にもどんどん液体窒素は消費されていく。
• 温度が上がりきらないので諦めて、やや低めで成膜することにした。またもや白い曇りが…
• 相変わらず、放電しないターゲットがある。散々、掃除してもだめ。明日、先生立会いで調べることになった。