2005-02-22 ■ 仕事 仕事 午前中はXPSのデータのことで呼ばれる。 プレスパッタ後、本番の成膜。再現性はいかに…?。成膜しながら、漏れたインジウムを削り取る作業をする。ヤスリがけは楽しいなぁ。 本日、二発目の成膜。これも再現性はいかに…? イオン交換水は二次側のフィルターに水が満タンになったら、一次フィルターでの水漏れはなくなった。当分、これで様子を見よう。 ISSPの原稿に手をつける。遅すぎ。