装置の圧力は一昨日とほとんど変化無し。 スライダックを使って、リボンヒーターの電圧を上げることにした。 プリンターのインクを注文。 実験室から見た富士山。

ひたすらベーキング。真空が戻りますように（-人-）

装置は40Pa弱までは引けたが、RPだけではそこでサチってしまったので、強引にTMPで引き始めた。 10-2Pa台までは引いた。リボンヒーターを巻きつける。明日、引けているといいんだけど。 ゼミ。滞りなく終わる。

装置組み立て。とりあえず、形上は元に戻ったが到達圧力まで引けるだろうか… XPS依頼測定の打ち合わせ。

1200過ぎ、XPS依頼測定開始（4サンプル）。1900には終わるかな。 実験室の油物のゴミ捨てなど。 1600、測定を見に行ったら、まだ2つめの半分だった。2hrs/1sampleだっけ？それとも、ワイド測定に時間かかったのか。これだと終わるの21時過ぎになってしまうが…

XPS測定。自分の所の試料。 装置の掃除やら、オイル交換やら。RPのオイルが見た目より汚れていた。 XPS依頼測定の打ち合わせ。再来週は毎日XPS測定をやってような悪寒。 明日、急にXPS測定を依頼された。美容院を予約したあったので、午後からにしてもらった…

午後一でXPS測定。停電復旧後、正常に測定できた模様。 装置。ありえないことが起こる…途方にくれるとは正にこのことだ。何日で復旧できるかな。

装置の掃除と立ち上げ。ターゲットはそろそろ交換しないと駄目かも。

1030にXPSの依頼測定。 試料を入れて粗引きしようとしたら、バルブを開閉するエアーのチューブが抜けていて、激しく空気の漏れる音がする。かなりびびる。心臓に悪る杉。 ソフトで該当するバルブを閉めたらTMPが落ちた。サービスに電話をして対処方法を聞き…

抵抗率の測定をやった。データはあまりよくない。αとρが両立しない。 応物の目処が立っていない卒論生は二人。原稿が気になって、正月はしゃげないぞ。 装置停止。

ほろ酔いで仕事にならず。

自分の成膜。最近、装置が空いているので、実験をやり始めた。 αの結果を見ると、他人が成膜したデータとの再現性がない。どちらを信用すべきか…もう少し、実験を続けよう。後はXRD測定結果にもよるな。

紀要を仕上げて、学部の事務室へ持っていく。学部の事務室は学科の事務室と比べて豪華な感じがする。5Fで眺めもいいし。

ちょこちょこXPS測定の状況を見る。 紀要 最終直し。

頼まれもののXPS測定。サンプルは難しいものではないが、この装置で初めて人様の試料を測定するのでやや緊張する。 1サンプル90分。 これから定期的に測定があるそうな。

久しぶりにAl電極蒸着につきあう。 三年生ゼミ。グループワーク発表。何気に良く調べてあるような気がする。 四年生ゼミ。滞りなく。時間も時間だったので、自分の発表は中止した。

昨日のXRD測定で思った結果が出たので、先生とトークしながら、ゼミで発表しようと思った内容をパワポにまとめた。

紀要の査読者へのお返事をバカ正直に書きすぎて修正される。 XRD測定の結果を貰う。予想通りだ。ゼミ発表してみるかな。

XPS測定 試料を仕掛ける前に、電車の中で違和感を感じていた腹痛が本格的にやばくなり、トイレに駆け込む。未消化だぶつ。 吸収係数を測定する。いい感じだ。

ちょこっとだけ、紀要を直した。

ちょっとしたアイデアを思いついたので、何ヶ月ぶりに自ら成膜を行った。 月曜日のXRD測定で予想通りのデータが出ると良いな。

XPS測定 バルブの閉まりが悪くて、圧縮ガスのチューブを抜き差しして回避した。 測定中、付属高校生が見学に来た。女子高生が3人いた。 午後は頼まれ仕事の見直しと書類を完成させる。どうしたものか… それとPCの設定をする。一昔前のNECのPCは癖があって、…

午前中は明日、提出書類を仕上げた。 某学会に退会届をFAXした。年明けから、真空学会に入ることにした。 XPS測定 どうもバルブの調子が悪いらしい。サンプルを取り出すときにトラブった。 産学フェアなるものをやっていた。先生が発表するので聞きに行った…

頼まれ作業をほぼ仕上げる。それにしても僕に査読されてもいいのだろうか？コメントに苦労する。 昨日、掃除した装置をベーキングする。 夕方、プレスパッタしておこうと思って準備をして、Arガスを出そうとしたら、根元のバルブからガスが漏れていた。初期…

午前中はArガスボンベを交換して、管内のガス置換をした。冷却水の交換も。 午後はターゲットの交換とチャンバー内掃除。滞りなく終わる。 使わないEB装置を移動した。

先生は休み。透過率の測定を少し。フィッティングも問題もあるが、膜厚の分布がわかった。 熱処理をしたいけど、窒素ガス待ち。前回、熱処理をやってもらった時は膜が剥がれていた。その原因も考えないといけない。熱膨張係数の違い？

透明電極班の成膜。基板をつける位置が悪くて、中心がずれていた。次は同じ条件で位置を確認させよう。装置は安定。 同じ装置の別なターゲットにすると、放電しなくなる。散々、掃除して、ギャップを調節しても放電しない。ターゲットを切り替えるスイッチの…

0930、ターゲット交換からスタート。ターゲットが届かなくて、途中、15時過ぎまで作業がストップした。 ターゲットが届くまで、各部分の説明、試料の受け渡しなどを行う。成膜室からプラズマ処理室に移すとき、ロードロック室で試料を180度回転させる。真空…

不在だったので不明。配線等作業らしい。

1310、本年度、実験についての打ち合わせ。テーマ増加に伴い、一週で2テーマ受け持つことになった。テーマの内容は減っているので、むしろ楽かな？雑にならないように、気をつけよう。TAも頼りになりそうだ。 1400、履修者向けのガイダンス。たっぷり2時間強…