午後

• 自分の成膜。250分。
• 基板洗浄。やっぱ体を動かすと楽しい。
• トレーニング。基板交換やら成膜やら。成膜中。
• 卒論で作ったznoは多結晶であったのに対して、今回作ったのは向きがそろっていた。基板温度依存性があるなら、それはそれでおもしろい。
• アニール条件が悪く抵抗性が取れなかった試料を、温度を上げて再アニールした。その抵抗率を測る。ちゃんと抵抗性が取れていた。