I木先生のコメントに対する追実験

11:30　試料交換後、MV OPEN
13:30　8.5x10-4 Pa
14:00　ターゲット予備加熱*1
15:15　成膜開始　電流密度5μA/cm2
17:10　全終了

*1:11/28高田成膜前にTi補給