午後

• 成膜。250分。
• 水素ガスの流れがおかしいので、15分おきにチェック。
• 装置に張り付け。
• 最近、装置を覚え始めたM1が、チャンバーをリークしたまま装置を止めて連休をこした。こちらの想定外なことするな。デジカメで写真を撮ってマニュアル作りしてるけど、あんまり意味は無い。経験的に手で書いた方が覚える。
• 夕方、雨が振り出す。
• 基板洗浄をする。