2006-07-18 午後 イオン交換樹脂が限界なので交換した。ツブツブが厄介だ。洗浄はできるようになったけど、ツブツブの後始末にはもう暫くかかりそう。 装置が空いていたので成膜。基板が難ありなので、お試しの条件で。330分コース。 良いデータがでたら、再現性をみよう。 四年生のいろいろ。発表練習を見る。 ゼミ 発表練習が中心。だいぶまとまってきた。