午前

• 装置の様子。
  • 装置の圧力は10-5Pa台だったので、第一段階はクリア。
  • 恐る恐る冷却水を流してみると、圧力は悪くならないので、第二段階もクリア。
  • 最後に放電チェックをしたら、三元とも点火したので最終段階もクリア。
  • 三日かけて行ったメンテナンスは報われた。
  • ベーキングを兼ねた基板加熱を行う。