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• 午後一から成膜していたら、突然放電が止まった。再度、放電させても点火はせずに変なところでマッチングが取れていた。どこかで異常放電しているみたい。リークしてターゲットを交換することになった。ベーキングで漏れていたインジウムが原因らしい。
• ターゲットを交換しようとしたら、ねじ山がつぶれてて取るのに一苦労した。パワー系はやめて。
• 交換後は正常に真空引き。最近、水難の相だから、ドキドキするね。
• イオン交換水製造機を試す。一次側のフィルターの容器から水がジャジャ漏れなんですけど？